半导体前级泵市场规模，2025年全球行业分析

前级泵是什么？

前级泵在半导体行业中必不可少，用于在高真空泵接管之前在处理室中产生初级真空。泵对于需要真空环境的工艺至关重要，例如光刻、蚀刻和化学气相沉积 (CVD)。

前级泵产业链分析

供应链：不锈钢、铝和特种聚合物等高级材料均来自 Carpenter Technology Corporation 和 Sandvik Materials Technology 等公司。材料必须符合严格的纯度标准，才能确保泵的性能。

制造：生产涉及复杂的机械加工和装配，通常在 ISO 5 级洁净室条件下进行。主要制造商包括：普发真空—其 2023 年年度报告显示，半导体行业真空解决方案的销售额增长了 7%。爱德华真空公司 (Edwards Vacuum) - 其 2022 年财务报告强调，半导体相关真空产品同比增长 10%。

分销和售后：服务网络至关重要。例如，阿特拉斯·科普柯于 2014 年收购 Edwards，旨在增强其服务能力，重点是减少半导体客户的停机时间。

全球前级泵行业

根据行业报告，预计2025年至2031年的前级泵复合年增长率为 5.4%。美国在创新方面处于领先地位，拥有 Lam Research 和 Applied Materials 等公司，这两家公司在 2022 年共占据了前级泵市场约 30% 的份额。半导体行业协会 (SIA) 2023 年的一项调查显示，80% 的美国半导体制造商计划投资于真空技术改进。

根据中国半导体行业协会 (CSIA) 的报告，中国半导体设备市场（包括前级泵）规模预计到2026年将达到320亿美元。而亚洲对本地化解决方案的需求正推动制造商在该地区建立更多的生产和研发中心，其中中国台湾和韩国的增长率最高，到 2023 年分别达到 10% 和 9%。

据行业统计数据显示，2023年半导体行业对真空解决方案的需求推动全球前级泵出货量增长6%。转向运行更清洁的干泵，干泵销量同比增长 8% 就是明证。

专家见解

普发真空 Thomas Schmidt 博士表示：“在前级泵中集成物联网进行实时监控，为我们的客户降低了高达 20% 的维护成本。”

北京真空设备厂李明表示：“我们看到国产泵的需求增长了 25%，但在达到国际领先产品的可靠性方面，我们仍然面临挑战。”

本文问答

Q1: 前级泵主要作用是什么？

A1: 前级泵用于在高真空系统启动前或运行中将系统内的压力降低至粗真空状态，为高真空泵提供工作条件。

Q2: 哪些行业对前级泵的需求最大？

A2: 半导体制造、LED生产、太阳能电池板生产、制药、化学分析和科研领域对前级泵的需求最为显著。

Q3: 如何区分前级泵的类型？

A3: 前级泵的类型主要根据其工作原理（如旋片、干式、滑阀）区分，选择时需考虑其抽速、极限真空度和应用环境。

Q4: 中国前级泵市场的增长主要驱动因素是什么？

A4: 中国市场的增长主要由半导体和光电行业的发展驱动，同时技术升级和国产替代策略也在推动市场扩张。